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GC-9560-HG高純氧分析氦離子色譜儀適用于高純氧氣中痕量雜質(zhì)的檢測，Z小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

GC-9560-HG高純氮分析氦離子色譜儀適用于高純氮中的H2、O2、Ar、CH4、CO、CO2等雜質(zhì)的檢測，儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，Z小檢測濃度可達(dá)5ppb。

GC-9560-HG高純氨分析氦離子色譜儀適用于高純氨中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目

高純二氧化碳分析氦離子色譜儀用于高純二氧化碳中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，Z小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量*。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目、上海市重點新產(chǎn)品、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號。

PDHID對硅烷中氣體雜質(zhì)檢測限（ppb） H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50